FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
- Agency
- TED
- Full Agency
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
- Country
- Germany
- Deadline
- 13-Oct-2026 23:59
- Published
- 14-Sep-2026
- Reference
- 9a80205f-f0b5-4b49-89a8-6cbb54e94cf4
- Source ID
- 6314042026
Notice Overview
Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.
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